半導体産業用潤滑剤

Nyeの半導体産業用潤滑剤

NyeTorr®、 NyeClean® および NyeVac® は、半導体製造装置用に特別に配合された特殊潤滑剤です。これらのアウトガスの少ない真空潤滑剤は、プロセスガスにさらされても化学的に安定しているため、主要な半導体製造装置や半導体工場にとって最初の選択肢となっています。

機能と優位性

摩擦と摩耗の低減
部品の寿命の延長
汚染防止
耐高真空性

機能性と信頼性の向上
潜在的不具合の回避
ダウンタイムの低減

半導体用潤滑剤を選択する際に考慮すべき特性

低アウトガス

潤滑剤から発生するアウトガスは、ウェーハ、処理装置、その他の精密部品を汚染する可能性があります。潤滑剤のアウトガスは、ASTM E595 によって、総質量損失 (TML) および収集揮発凝縮性物質 (CVCM) で測定されます。 Nye の潤滑油は、半導体業界で定められた許容可能なアウトガス限界を大幅に下回っており、TML では 1.00% 以下、CVCM では 0.10% 以下です。 Nye は、これらの凝縮性物質を収集し、潤滑剤からシステムに放出される物質を特定する残留ガス分析（RGA）を行うことができます。

低発塵性

発塵とは、ボールねじ、ベアリング、ギアシステムに塗布された潤滑剤から汚染物質が作業環境に排出されることを意味します。ベースオイル、増ちょう剤、添加剤などがこれらの汚染物質になる可能性があり、回転、滑り、またはその両方の組み合わせなど、動的な機械的作用によって、グリースから汚染物質が放出されます。Nye のテストラボでは、動的条件下で発塵の測定および定量化する独自のテスト方法と装置を開発しました。Nyeではこの試験結果に基づいて低発塵の特殊潤滑剤の開発を行っています。

耐熱性

蒸発せずに高温で製造設備の機械部品を保護する潤滑剤が求められます。高温では蒸気圧が上昇するため、アウトガスが発生しやすくなります。 Nye の真空・クリーンルーム用潤滑剤の多くは、最高 250 °C の高温で機能するように配合されています。

潤滑剤の清浄度

真空およびクリーンルーム環境にある製造装置は非常に繊細であり、微細なコンタミでさえ製品の不具合を引き起こす可能性があります。Nyeでは超ろ過により微細なコンタミ粒子を除去した清浄度の高い潤滑剤を提供しています。

PFOA-コンプライアンス

半導体産業向けのすべての Nye 製品は、REACH ガイドラインおよびその他の国際規制に準拠した 25 ppb (10 億分の 25) 未満の PFOA レベルを満たしています。

PFPE vs MAC

PFPEとMACの潤滑剤は、どちらも蒸気圧が低くアウトガスが少ないため、真空環境に適しています。PFPE潤滑剤は、MAC潤滑剤（最大150°C）と比較して、優れた高温性能（最大250°C）を提供します。独自の添加剤パッケージにより、MAC潤滑剤は、PFPE潤滑剤と比較して耐摩耗性に優れています。どちらの製品も超ろ過が可能で、プラスチックやエラストマーと互換性があり、PFOA規制に準拠しています。

NyeTorr vs NyeClean

当社のNyeTorr® および NyeClean®は、化学的に安定で、安全性が高く、低蒸気圧です。ベアリング、リニアガイド、ボールねじ、その他の精密なメカニズムなどの半導体製造装置用にデザインされています。 NyeTorr®は、高温にさらされる超高真空アプリケーションでの使用をお勧めします。 NyeClean®は、優れた低発塵特性を備えており、後工程やパッケージングなどのクリーンルームアプリケーションに推奨されます。

PFPEグリース

製品名	動粘度 @ 40°C	真空安定性 (ASTM E595)	特徴
NYECLEAN 5057	192 cSt	TML= 0.225 wt% CVCM= 0.054 wt%
NYECLEAN 5097R	140 cSt	TML= 0.441 wt% CVCM= 0.044	より優れた耐腐食性アウトガスが懸念されない環境では180°Cまでの高温で使用可能
NYETORR 5300	140 cSt	TML= 0.320 wt% CVCM= 0.045 wt%
NYETORR 5300XP	140 cSt	TML= 0.075 wt% CVCM= 0.018 wt%	高荷重用、優れた耐摩耗性
NYETORR 5350	152 cSt	TML=0.757 wt% CVCM=0.451 wt%	低～中程度の真空環境用
NYETORR 6300	188 cSt	TML= 0.036 wt% CVCM= 0.006 wt%	極めて低いアウトガスの発生
NYETORR 6300S	188 cSt	TML= 0.012 wt% CVCM= 0.000 wt%	低トルク、低粘度要求箇所に最適
NYETORR 6350EL	200 cSt	TML = 0.060 wt% CVCM = 0.008 wt%	低アウトガス・低トルク用長寿命潤滑
NYETORR 6370EL	362 cSt	TML= 0.063 wt% CVCM= 0.001 wt%	耐腐食性・耐摩耗性・長寿命

MACグリース

製品名	動粘度 @ 40°C	真空安定性 (ASTM E595)	特徴
NYETORR 5200	108 cSt	TML= 0.068 wt% CVCM= 0.007 wt%	部品寿命の延長、低トルク、耐摩耗性
NYETORR 6200	108 cSt	TML= 0.058 wt% CVCM= 0.025 wt%	より低いアウトガス発生、対摩耗性
NYETORR 6200-FL	108 cSt	TML=0.03 wt% CVCM=0.007 wt%	低速時で優れた低トルク

PFPEオイル

製品名	動粘度 @ 40°C	真空安定性 (ASTM E595)	特徴
NYETORR 5301	140 cSt	TML= 0.230 wt% CVCM= 0.033 wt%
NYETORR 6301	187 cSt	TML= 0.00 wt% CVCM= 0.000 wt%
NYETORR 5361	192 cSt	TML= 0.03 wt% CVCM= 0.010
NYETORR 6371	446 cSt	TML= 0.020 wt% CVCM= 0.002 wt%
NYETORR 5381	809 cSt	TML= 0.070 wt% CVCM= 0.004 wt%	ダンピング特性が必要な箇所のグリースの代替品

MACオイル

製品名	動粘度@ 40°C	真空安定性(ASTM E595)	特徴
NYETORR 5201	108 cSt	TML= 0.120 wt% CVCM= 0.013 wt%
NYETORR 6201	108 cSt	TML= 0.110 wt% CVCM= 0.010 wt%
SYNTHETIC OIL 3001A	2082 cSt	TTML=0.100 wt% CVCM= 0.050wt%	荷重のかかる箇所に有効な超ろ過オイル

Testing & Manufacturing

潤滑剤の製造に使用される材料と製造装置は、潤滑剤の清浄度に影響を与える可能性があります。 Nye では、原材料は厳しい品質基準を満たしています。当社の真空潤滑剤は、高い品質を保証するために、ISO クラス 8 およびクラス 7 認定のクリーンルームで製造、充填されています。

Nyeの製品はすべて、自社の真空航空宇宙半導体試験 (VAST) ラボで真空および高温下で試験することができます。Nyeはアウトガス、発塵、およびその他の重要な性能データに基づきお客様が精密機器やハイエンドの製造プロセスに適した潤滑剤を選択するお手伝いをします。 Nye独自のMAC系潤滑剤や超ろ過などの製造技術は、地球上および宇宙での最も過酷な条件に 50 年近く耐えることが証明されています。